Technika spektrometrii masowej jonów wtórnych, w skrócie SIMS, jest bardzo precyzyjną techniką analityczną, która służy do określenia składu pierwiastkowego próbki. W większości laboratoriów Instytutu Mikroelektroniki i Fotoniki Łukasiewicz naukowcy skupiają się na szerokiej gamie materiałów półprzewodnikowych, ale badają też niektóre metale, ceramikę, polimery i materiały organiczne.
Występują: dr hab. Paweł Michałowski
